Даринцев О. В., Мигранов А. Б. Манипуляционные микроробототехнические системы и проблемы производства гибридных МЭМС // Нано- и микросистемная техника. 2005. № 2. С. 38–44.
Рассматриваются вопросы использования манипуляционных микроробототехнических систем для сборки и корпусирования гибридных микросистем. Описаны основные проблемы производства МЭМС, в которых интегрированы сенсорные, управляющие, исполнительные и информационные функции. Дан краткий анализ современного состояния микросборочных технологий. Обобщены особенности реализации известных микротехнологических систем.
Questions of use manipulation microrobototechnical systems for assembly and packing hybrid microsystems are considered. The basic problems of manufacture MEMS into which touch, control, executive and information functions are integrated are described. The brief analysis of a modern condition of microassembly technologies is given. Features of realization of known microtechnological systems are generalized.
